iwaki泵在半導體和液晶工藝運用中的重要性

發(fā)布日期：2023-09-06      瀏覽次數(shù)：745

iwaki泵在半導體和液晶工藝運用中的重要性

在清潔條件至關重要的半導體和液晶工藝中，不得產(chǎn)生或混合顆?；蛭廴疚?。易威奇對此類精細工藝所需的超純水和化學溶液的傳輸控制技術充滿信心。
我們利用豐富的經(jīng)驗和專業(yè)知識來滿足從化學液體輸送應用到各種加工應用的各種客戶要求。

解決半導體和液晶領域所需的問題

• 粒子

• 在化學液體轉(zhuǎn)移過程中產(chǎn)生較少顆粒的結構。為超潔凈制造工藝做出貢獻。

• 污染

• 高流量泵提高了從晶圓表面去除金屬和有機污染物的效率。

• 高溫液體輸送

• 最高耐液體溫度180度。兼容CARO(SPM)H3PO4等需要高溫液體輸送的化學液體。

• 高壓傳輸

• 可提供最大供氣壓力為 0.7 MPa 的泵。支持各種需要高壓放電的工藝。

• 耐用性

• 心臟處的波紋管采用成熟的R型波紋管?？沙惺芨邏悍烹姡瑝勖L。

• 減少停機時間

• 易于維護的結構無需定期重新擰緊雙頭螺栓。減少停機時間。

• 應用領域

• 化學品供應流程詳情

  

• 化學品供應流程

• 泵控制器保持流量和壓力恒定。提供穩(wěn)定的化學品供應。

• 清洗流程細節(jié)

  

• 清洗過程

• 專有的無污染結構最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生。

• 照片處理細節(jié)

  

• 照片處理

• 步進電機驅(qū)動可實現(xiàn)高精度，再現(xiàn)性為 ±0.3% (FS) 或更小。

• 

• 化學機械研磨工藝

• 易威木的波紋管泵具有高壓排放能力，可以毫無問題地輸送 CMP 漿料。

• 主要產(chǎn)品提供給半導體和液晶領域

  
  

• 氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

  

  
  

• 氣動波紋管泵FS-H系列

  

  
  

• 氣動波紋管泵FS-N系列

  

  
  

• 自動風門 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W

  

  
  

• 化學補給泵CFD

  

  
  

• 光刻膠分配泵PDS-105R

  

  
  

• 電磁計量泵EWN-W系列（水質(zhì)控制用）

  

  
  

• 內(nèi)部液體不可補充的 pH/ORP 傳感器 8000 系列

  

  
  

• 化學罐 CT-U (25 – 120L)